对省政协十三届二次会议《关于稳步推进我省半导体装配行业发展》（第13020377号）提案的答复

赵凯委员：

  您提出的关于稳步推进我省半导体装配行业发展的提案收悉，现答复如下：

  近年来，我省积极响应国家要求，主动融入国家产业布局，从维护国家产业安全的高度，围绕突破集成电路领域“卡脖子”核心技术，实现产业链供应链自主可控，统筹全省各方资源和力量，全力推进集成电路装备产业集群建设。2023年，全省集成电路装备产业保持快速增长，集成电路整机与零部件产业实现营业收入超过105亿元，同比增长31%。

  在高涛副省长带领下，省集成电路装备产业集群工作推进专班（以下简称“专班”）积极推动《辽宁省集成电路装备产业发展专项规划（2022-2025年）》（以下简称《规划》）和《辽宁省培育壮大集成电路装备产业集群若干措施》（以下简称《措施》）落实，省直相关部门主动与国家部委对接，争取国家支持，相关地区积极谋划项目，加快集成电路装备产业园区建设，全省集成电路装备产业保持较快发展势头，与北京、上海共同构成我国集成电路装备产业三大重点地区，目前初步形成规模化制造能力和产业配套体系，成为全国集成电路装备与零部件重点生产基地之一。特别是在细分领域，涌现出一批特色明显、成长较快、创新能力突出的代表企业，突破了一批制约我国集成电路装备产业发展的“卡脖子”关键技术，研制了以薄膜沉积、涂胶显影、封装设备以及关键零部件为代表的一批国产化替代产品，填补国内空白，打破国际垄断。2023年，共计下达“数字辽宁智造强省”专项资金2.65亿元，对集成电路2022年国拨资金重点项目予以配套支持；争取中央资金2.79亿元，支持拓荆科技股份有限公司集成电路关键装备研发及产业化项目。

  集成电路装备行业属于资金密集型产业，研发投入强度高，企业研发投入资金压力大；随着国际形势的复杂多变，美国不断加大对我国高科技领域的打压力度，集成电路企业面临进口设备和零部件断供风险，部分“卡脖子”关键设备、零部件、材料等急需实现国产替代；由于当前半导体产业正处于下行周期，我省部分集成电路装备企业受到一定影响，快速增长势头有所放缓。

  下一步，省集成电路装备产业集群专班将按照乐成省长的要求，充分发挥专班作用，认真落实《规划》和《措施》，推动集群加快建设，做强做优做大集成电路装备和零部件产业。

  一、以优势企业为龙头，带动产业快速发展。组织龙头企业牵头积极申报国家发改委重大攻关、科技部重大技术攻关、工信部产业基础再造等国家部委项目；对接国家重大战略需求，围绕集成电路装备和零部件等重点方向，面向14-7纳米先进制程，重点突破行业关键核心技术，推进我省集成电路整机装备和关键零部件向下一代工艺节点拓展延伸，加速提高国产化替代进程，提升我国集成电路装备在国际市场的核心竞争力；围绕落实《措施》加快出台实施细则，制定集成电路装备和关键零部件重点企业清单，聚焦重点企业，明确《措施》支持范围；聚焦集成电路装备等优势领域，在“兴辽英才计划”中研究设立集成电路人才专项，积极引进和支持一批集成电路领域高端人才。鼓励相关地区围绕加大人才支持力度出台个性化政策，满足企业对高端人才和技术人才的需求。

  二、鼓励企业加大研发力度，推进产学研用合作。围绕已形成的产业链图谱，确定“卡脖子”功能部件，通过自主研发、联合攻关等形式开展技术攻关，加快推进关键部件国产化替代进程，提高企业应对国际风险能力。支持企业以创新联合体的形式，提前布局14纳米先进制程装备和关键零部件研发计划，鼓励企业加大研发力度，推动“卡脖子”关键技术取得突破并实现本地产业化。推进集成电路装备省级重点实验室、技术创新中心、企业技术中心等创新平台建设。持续开展集成电路装备产业调研，及时了解产业发展现状，协调解决企业困难问题，谋划产业发展方向。组织企业与银行、产业投资基金等金融机构对接，加强产融合作交流，探索合作新模式新路径。

  三、加强企业服务，推动产业集聚发展。用好国家和我省集成电路产业相关政策，围绕拓荆科技、富创精密、芯源微等重点企业产业链上下游配套企业，省市区三级联动，深入对接产业优势地区，招引配套企业落地，推动企业集聚发展，争创国家产业集群。充分发挥整机企业产业集聚效应，全力建设沈阳“北方芯谷”，辐射大连、营口、丹东等地，强化精密零部件、半导体材料等产业集聚发展，围绕产业链上下游大力开展以商招商，重点实施延链补链强链专项行动，推进半导体薄膜设备产业化基地、高端精密划片设备基地等一批产业集群重点项目开工建设，进一步推动要素资源集聚、产业协同发展、产业生态完备，力争将集成电路产业集群纳入国家战略性新兴产业集群工程，把辽宁打造成电子信息产业备份基地。

  辽宁省工业和信息化厅

  2024年6月4日