对省十四届人大一次会议关于培育壮大辽宁集成电路装备产业集群
实现高质量发展的建议（第1411365号）的答复

宗润福代表：

　　您提出的关于培育壮大辽宁集成电路装备产业集群，实现高质量发展的建议收悉，现答复如下：

　　建议收到后，省人大、省政府办公厅以及省工信厅领导高度重视，省人大常委会委员、省人大人事选举委员会主任委员赵建华带队，省人大常委会代表工作委员会副主任于健，省政府办公厅副主任申志斌等相关领导同志专门就建议办理情况与省工信厅胡异冲厅长等进行了多次座谈交流，省工信厅电子处与省人大常委会议案建议处保持密切联系，共同就您所提建议的具体内容分别与省科技厅、发改委相关部门进行了沟通，充分梳理了全省集成电路装备产业情况，并由毛丰燕副厅长带队，分别对拓荆、芯源微、富创等集成电路装备和零部件企业进行了调研，精准把握企业需求，与业内专家进行了交流，充分探讨推进产业发展的着力点。

　　习近平总书记多次强调“产业链供应链在关键时候不能掉链子，这是大国经济必须具备的重要特征”。在去年底中央经济工作会议上习近平总书记强调“集成电路和工业母机是现代产业体系的核心枢纽和制高点，要支持产业链发展”。辽宁省自觉履行五大安全的政治使命，集全省之力推进集成电路装备产业发展，把集成电路装备和关键零部件产业作为我省实施产业结构调整和数字辽宁建设的重要抓手，并列为“辽宁省国民经济和社会发展第十四个五年规划和二〇三五年远景目标纲要”重点发展方向之一，同时也是辽宁全面振兴新突破三年行动方案的重点任务之一，是“辽宁省‘十四五’信息产业发展规划”的重点方向。围绕集成电路产业链，我省已形成了以沈阳为中心，大连为支撑，营口、丹东等多点发力的产业布局，已有多项产品实现出口替代，具有较强的市场竞争力；初步形成了较为完备的科技创新体系，拥有5个国家级工程技术研究中心工程实验室，3个国家级企业技术中心，37所高等院校开设集成电路相关专业，共有专业点92个，成立了国家第一个省级半导体装备产业创新联盟，建设了31个重点实验室技术创新中心，构建起14个产学研联盟；承担了33个国家重大专项项目，在薄膜沉积、涂胶显影、封装等领域拥有50余个自主可控核心技术，突破行业“卡脖子”技术55项。2022年全省集成电路装备和关键零部件产业实现营业收入72亿元，同比增长37%，与北京、上海共同形成集成电路装备制造领域三大重点地区，截至2023年8月底，实现营业收入约60亿元，同比增长超过30%。

　　我省积极落实国家和省内相关产业政策，其中，国家集成电路产业所得税税收减免政策自实施以来累计减免我省相关企业所得税超过8.3亿元；2021年我省出台的《集成电路企业承担国家重大项目资金配套实施方案（试行）》自实施起已累计配套16个项目4.04亿元；我省“数字辽宁智造强省”、“兴辽英才”专项资金2022年累计下达超过20亿元支持产业发展，其中集成电路产业是支持重点之一。

　　下一步，辽宁省将继续全力推动集成电路装备和关键零部件产业健康快速发展，加大政策供给，加强要素保障，持续优化集成电路创新生态、产业生态，引导更多的社会资本投向集成电路产业，吸引更多的高层次人才集聚发展。

　　一是落实好国家和我省产业发展政策。积极帮助企业享受国家集成电路产业所得税税收减免政策，正委托第三方机构对2023年申报企业进行审核；继续争取国家大基金和国开行等机构资金支持，2023年国开行已支持企业近4亿元，另有2个项目已达成合作意向；继续支持企业承担国家重大专项并做好相关资金省内配套。省政府出台了《辽宁省培育壮大集成电路装备产业集群若干措施》，现各相关部门正加紧制定实施细则，在产业要素各个方面争取早日更大力度支持企业发展；“数字辽宁智造强省”、“兴辽英才”等专项资金将继续大力支持集成电路产业。

　　二是继续完善产业链，推动产业健康发展。省政府组织编制了集成电路装备产业集群发展专项规划（2022-2025年），明确产业发展方向和目标，积极延伸和完善产业链；发挥领军企业的引领带动作用，支持企业增资拓产、上市融资，目前有2家企业正在接受上市辅导；支持企业合作，拓展产业配套，推动产品研发，支持企业新产品产业化；在《辽宁省培育壮大集成电路装备产业集群若干措施》中明确支持产业链协同发展，对本地配套企业按照实际履约金额的10%给予奖励，最高不超过500万元。充分发挥拓荆、芯源微、和研等龙头企业牵引作用，与本地机械加工、零部件制造等企业开展深入对接，培育一批本地配套企业，不断提升本地企业配套能力，目前瑞昇科技已正式为芯源微、拓荆等企业配套；每年组织相关企业参加SEMI CHINA和中国电子信息产业博览会等国际国内专业展会，集中展示辽宁新产品、新技术，帮助企业拓展市场，促进产业良性发展，做大产业规模。预计2023年我省集成电路装备产业营业收入约100亿元。

　　三是发挥技术优势，提升企业创新能力。继续发挥企业技术积累的比较优势，发挥省半导体行业协会作用，助力联合开展协同创新，以“揭榜挂帅”等形式支持企业技术进步。以技术创新产业升级为牵引，引导骨干优势企业联合大连理工、东北大学、中国科学院沈阳分院等高校院所组建实质性产学研联盟，凝练“高精尖缺”技术需求，推进以企业为主体、产学研高效融合的体系，健全高新技术需求生成机制，自发开展关键技术攻关并推动科技成果本地产业化，现企业与高校已经过多次探讨。省发改委等部门利用国家资金和政策，结合我省相关专项资金，积极推进集成电路领域工程研究中心、企业技术中心、验证平台等建设，不断提高企业创新能力和产业持续发展动力。通过优化政策供给、搭建中试平台、强化撮合对接、完善服务体系、加大资金支持等举措，科技成果本地转化率由2021年的53.6%上升至2022年的54.1%。其中，拓荆的28nm PECVD、ALD、SACVD系列设备，富创的晶圆缺陷检测设备反应腔，和研的DS系列划片机，芯源微的前道涂胶显影设备、刷片清洗机，科仪应用于12英寸集成电路制造工艺的干式真空泵，沈阳仪表院的全自动12寸精密砂轮划片机等新研发的集成电路装备和关键零部件高端产品或者攻克“卡脖子”技术、实现替代进口的产品，都在省内实现了产业化。

　　四是积极争取国家有关部门支持。与国家发改委、科技部、工信部等有关部门保持沟通，积极争取更多中央预算内投资支持我省集成电路装备领域项目建设，目前已有2个项目（涉密）已获得国家发改委资金支持，支持资金超过8亿元。与国家大基金保持紧密联系，不断向大基金推荐我省优质项目，努力争取大基金对我省项目的支持，今年已对接大基金相关部门2次，推荐项目2个。

　　五是继续做大集成电路装备产业集群。充分发挥我省集成电路装备产业在全国的影响力，有针对性的开展招商引资工作，大力引进优质上下游企业或研发总部、生产基地，形成集成电路整机装备、关键零部件、系统集成等协调发展的产业集聚区，坚持全省一盘棋，全力打造国内集成电路整机装备产业创新新高地和国内一流的集成电路关键零部件产业基地，培育壮大我省集成电路装备产业集群。以沈阳国家级集成电路装备产业基地为核心，围绕集成电路产业链，组织沈阳市与北京天科合达半导体股份有限公司、深圳市华航铝业航材有限公司、江苏神州半导体科技有限公司等10余家企业洽谈，现已签约“恒润真空设备研发总部及生产基地项目”、“年产30万件半导体石英材料项目”等4个项目，总投资超过4亿元。另有单晶炉及CVD外延设备生产项目、半导体铝材部件加工铸型项目、SOC设计（沈阳）重点实验室等正在推进项目总计14个，总投资43.9亿元；亚德客国际集团高纯气路管阀件生产基地项目、海尔曼太通（无锡）电器配件有限公司零配件生产基地项目等22个项目正在积极争取。

辽宁省工业和信息化厅

2023年10月25日